模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M主要应用在量程范围从10SCCM--30SLM之间气体流量的测量和控制，采用新型传感制作工艺，具有响应速度快、准确度高、流量控制稳定、压力范围宽、线性度好等优点，适用于绝大多数干燥、干净的气体（及少数腐蚀性气体）。
性能特点：
1、响应速度快 2、耐压程度高
3、抗干扰性强 4、宽压力范围
5、流量控制精准 6、数据传输距离远
技术参数：
气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟） SLM（标准升每分钟）
标准状况：温度--293.15K(20℃) 压力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示满量程
型号 | AC-S030C | AC-S030M |
流量规格 | 10SCCM---30SLM | |
控制量程（N2) | 2—100% | 1—100% |
精度 | ≤±1%F.S | |
线性 | ≤±0.5%F.S | |
重复性 | ≤±0.2%F.S | |
阀门类型 | 常闭阀 | |
响应时间 | 1—2S | |
最大耐压 | 50Bar | |
通讯信号 | 模拟通讯 0—5V或4—20mA | |
供电方式 | 15VDC或24VDC（300mA) | |
泄露率 | 1X10-9atm.cc/sec.He | |
模拟型小量程气体质量流量控制器/流量计AC-S030C/AC-S030M应用行业：真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备
