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气体质量流量控制器的响应时间对工艺的影响

发布时间:2023-10-11人气:331

   随着越来越多的用户使用气体质量流量控制器,目前用户在产品性能方面,也提出了很多高标准和要求,比如:精度、稳定性、耐压、响应时间等等。今天就简单的聊聊,气体质量流量控制器的响应时间问题。

热式气体流量计1.jpg气体质量流量控制器

   目前国产产品中精度等级高的就是0.35%F.S,常规产品的使用精度都在±1%F.S;进口产品的精度能达到±1%SP。产品的耐压等级可根据流量大小的不一样,分为:3Mpa和10Mpa。

   热式气体质量流量控制器/流量计作为新型的气体流量调节控制装置主要是利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传递分布效应而制成,即热分布式流量计,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,通过闭环,去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流,控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。

   气体质量流量控制器的响应时间,根据生产原理的不同会有不同时间反应,一般芯片式或差压式原理的控制器响应时间会快于毛细管式的。在响应时间上,进口产品和国产产品也是很有差异的。